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青岛持久高新材料有限公司

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SIC涂层、石墨基座/Mocvd盘

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更新日期2021-09-17 09:27

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SIC涂层、石墨基座/Mocvd盘

产品概述
SIC 涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、耐冲刷、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400℃时开始发生强烈氧化,即使温度不高,长期应用也会因氧化而掉粉末,会依附工件和台面或污染使用环境,因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材,MOCVD设备、粉末烧结、发热元件等工序上逐渐代替高纯石墨。
主要特点:
1.高温抗氧化:抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好;
2.纯度高:高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的;
3.耐冲刷:硬度高、表面致密、颗粒细;
4.抗腐蚀性:耐酸、碱、盐及有机试剂;
5.SIC表面层为β-碳化硅,属面心立方。

6.气相沉积方式,涂层厚度均匀。




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